Zpracování atomových vrstev: Technologie suchého leptání polovodičů

Recenze čtenářů

Aktuálně nejsou k dispozici žádné recenze čtenářů. Hodnocení je založeno na 2 hlasů.

Původní název:

Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology

Obsah knihy:

S touto praktickou příručkou se seznámíte se základními i pokročilými tématy leptání

Zpracování atomárních vrstev: Technologie suchého leptání polovodičů je praktickým a komplexním zdrojem informací o technologiích leptání a jejich aplikacích. Významný vědec, vedoucí pracovník a autor nabízí čtenářům podrobné informace o různých technologiích leptání používaných v polovodičovém průmyslu, včetně tepelného leptání, izotropního leptání atomárních vrstev, radikálového leptání, leptání za pomoci iontů a leptání reaktivními ionty.

Kniha začíná stručnou historií technologie leptání a úlohou, kterou sehrála v revoluci informačních technologií, spolu se sbírkou běžně používané terminologie v oboru. Poté přechází k diskusi o různých technikách leptání a v závěru se zabývá základy konstrukce leptacích reaktorů a nově se objevujícími tématy v oboru, jako je například role, kterou v této technologii hraje umělá inteligence.

Zpracování atomárních vrstev zahrnuje i celou řadu dalších témat, která přispívají k autorovu cíli poskytnout čtenáři porozumění technologii leptání za sucha na atomární úrovni, které je dostatečné pro vývoj konkrétních řešení pro stávající i nové polovodičové technologie. Čtenáři budou mít prospěch z:

⬤ Úplné pojednání o základech odstraňování atomů z různých povrchů.

⬤ Zkoumání nových technologií leptání, včetně leptání pomocí laseru a elektronového svazku.

⬤ Zpracování řízení procesů v technologii leptání a role, kterou hraje umělá inteligence.

⬤ Analýza široké škály leptacích metod, včetně tepelného leptání nebo leptání v páře, izotropního leptání atomárních vrstev, radikálového leptání, směrového leptání atomárních vrstev a dalších.

Kniha Zpracování atomárních vrstev je ideální pro materiálové vědce, fyziky polovodičů a chemiky zabývající se povrchovou úpravou a získá si místo v knihovnách technických vědců v průmyslu i na akademické půdě, stejně jako všech, kteří se podílejí na výrobě polovodičové technologie. Díky autorově úzkému zapojení do podnikového výzkumu a vývoje a akademického výzkumu kniha nabízí jedinečný mnohostranný přístup k tématu.