Výroba oplatek: Tvarování monokrystalických křemíkových plátků

Původní název:

Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers

Obsah knihy:

Představuje všechny hlavní fáze výroby destiček, od krystalů až po prvotní destičky.

Kniha nejprve popisuje fyziku, související metrologii, modelování procesů a požadavky na kvalitu a poté se věnuje technice tvarování a přípravě povrchu destiček. Celou knihu uzavírá kapitola o výzkumu a budoucích výzvách v oblasti výroby destiček.