Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers
Představuje všechny hlavní fáze výroby destiček, od krystalů až po prvotní destičky.
Kniha nejprve popisuje fyziku, související metrologii, modelování procesů a požadavky na kvalitu a poté se věnuje technice tvarování a přípravě povrchu destiček. Celou knihu uzavírá kapitola o výzkumu a budoucích výzvách v oblasti výroby destiček.