Původní název:
Piezoelectric MEMS
Obsah knihy:
Elektromechanické snímače založené na piezoelektrických vrstvách a tenkých vrstvách si neustále hledají cestu do mikroelektromechanických systémů (MEMS). Piezoelektrické převodníky se vyznačují lineární napěťovou odezvou, nemají chování typu snap-in a mohou poskytovat jak přitažlivé, tak odpudivé síly. Tím se odstraňují přirozená fyzikální omezení přítomná v běžně používaném přístupu elektrostatických snímačů, přičemž zůstávají zachovány výhodné vlastnosti, jako je provoz s nízkou spotřebou energie. Za účelem plného využití potenciálu piezoelektrických MEMS sahá mezioborové výzkumné úsilí od zkoumání pokročilých piezoelektrických materiálů přes konstrukci nových piezoelektrických senzorů a aktuátorů MEMS až po integraci zařízení PiezoMEMS do plně nízkoenergetických systémů. V tomto zvláštním vydání bude představen současný stav této vzrušující oblasti výzkumu, který zahrnuje širokou škálu témat, mimo jiné:
- Experimentální a teoretický výzkum piezoelektrických materiálů, jako jsou AlN, ScAlN, ZnO nebo PZT, PVDF, se silným zaměřením na aplikaci zařízení MEMS.
- Techniky depozice a syntézy piezoelektrických materiálů umožňující integraci těchto materiálů do výrobních procesů MEMS.
- Modelování a simulace piezoelektrických zařízení a systémů MEMS.
- Piezoelektrické rezonátory MEMS pro měření fyzikálních veličin, jako je hmotnost, zrychlení, rychlost odklonu, tlak a viskozita nebo hustota kapalin.
- Optická zařízení MEMS, jako jsou skenovací mikrozrcadla a optické spínače, založená na piezoelektrických MEMS.
- Akustická zařízení, jako jsou SAW, BAW nebo FBAR a akustické převodníky na bázi piezoelektrických MEMS, například mikrofony nebo reproduktory.
- Piezoelektrická zařízení pro sběr energie.
- Specifické aspekty balení piezoelektrických zařízení a systémů.
- Systémy s nízkou a nulovou spotřebou energie, které obsahují snímače s nízkou spotřebou energie v kombinaci se zařízeními pro sběr energie, z nichž alespoň jedno je založeno na piezoelektrických MEMS.
