Dynamika mikrosystémů

Původní název:

Microsystems Dynamics

Obsah knihy:

Předmluva; Předmluva; Úvod do mikrosystémů; Technologie výroby mikrosystémů; Přehled; Technologie mikroobrábění povrchu niklu pro výrobu mikrospínačů; UV litografie pro výrobu mikromotorů; Běžné MEMS aktuátory; Paralelní deskové kondenzátory; Hřebenové pohony; Elektrostatické mikromotory; Elektrostatické mikrospínače; Teoretické pozadí multifyzikálních interakcí běžných v mikrosystémech; Úvod do modelování vázaných polí; Elektrostatické ovládání a nestabilita při vytahování; Viskózní tlumení vzduchem; Vibroimpaktní interakce; Experimentální testování dynamiky mikrosystémů; Metody buzení vibrací; Optické techniky pro měření vibrací mikrostruktur; Studium pružných vibroimpaktních makrosystémů a mikrosystémů; Přehled nových důležitých efektů nelineární dynamiky ve vibroimpaktních; makrosystémech;; Analýza dynamiky spojeného pole v kontaktním elektrostatickém mikroaktuátoru; Numerické modelování a analýza interakce tekutin a struktur; Numerické modelování a analýza interakce elektrostatických struktur; Numerické modelování a analýza interakce vibrací a nárazů; Numerická analýza mikromotoru; Modelování mikromotoru metodou konečných prvků; Modální analýza; Řízení mikromotoru; Analytický model mikromotoru; Základy geometrie mikromotoru; Analýza točivého momentu; Pokyny pro návrh mikromotoru; Reference.